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半自動光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用
半自動光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用 2025-04-15

隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...

  • 淺談快速動力學(xué)停流裝置的特點(diǎn)和適用范圍 2020-09-27

    快速動力學(xué)停流裝置是好的多路混合停流裝置,淬滅裝置,快速混合溫度突變等裝置系統(tǒng),產(chǎn)品設(shè)計(jì)解決您快速動力學(xué)應(yīng)用中的所有需要。主要特點(diǎn):1.恒溫水夾套設(shè)計(jì),全電腦控制操作。2.程控驅(qū)動注射器,每路樣品流量可調(diào),不受濃度與粘度影響。3.高精度,*可調(diào)的混合與稀釋比例。4.極短的死時間,可達(dá)0.25毫秒。5.二路、三路、四路流動注射停流裝置可選擇??蓴U(kuò)展溫度適用范圍:快速動力學(xué)停流裝置可更換SFM附件,應(yīng)用于:化學(xué)淬滅,光學(xué)淬滅以及光學(xué)延時,冷凍淬滅,X-射線散射停流,中子色散停流,...

  • 表面光電壓譜提高了測量的準(zhǔn)確度 2020-08-24

    表面光電壓譜采用白光偏置光路激發(fā)材料;大功率*脈沖激光器,采用電磁屏蔽,無任何外界干擾,測試光路,水平與垂直可任意在線切換,實(shí)現(xiàn)固體樣品和液體樣品均可測試分析。光生載流子動力學(xué)主要測試技術(shù),載流子動力學(xué)測試技術(shù)主要有電學(xué)和譜學(xué)兩類,電學(xué)方法主要是光電化學(xué),測量方式又分時間域和頻率域,時間域方法主要有瞬態(tài)光電壓(TPV)和瞬態(tài)光電流(TPC),頻率域方法主要有電化學(xué)阻抗譜(EIS)和光強(qiáng)度調(diào)制光電壓譜(IPVS)和光強(qiáng)度調(diào)制光電流譜(IMPS)等。譜學(xué)方法主要是瞬態(tài)吸收光譜和瞬...

  • 多功能磁控濺射儀的工作原理介紹 2020-07-21

    多功能磁控濺射儀由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測,用于制備各種金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、磁控膜、光學(xué)膜、超導(dǎo)膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。磁控濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子,新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶...

  • 狹縫擠出式涂布機(jī)具有很多*的性能 2020-06-18

    狹縫擠出式涂布機(jī)是一款應(yīng)用狹縫擠出式涂布模頭對基材進(jìn)行非接觸式涂布的一款設(shè)備。該設(shè)備通過配置狹縫擠壓涂布模頭、精密計(jì)量供料系統(tǒng)與進(jìn)料閥體配合可實(shí)現(xiàn)連續(xù)涂布和條紋涂布兩種類型的涂布功能。設(shè)備涂布精度高,一致性和穩(wěn)定性好,廣泛應(yīng)用于鋰離子電池、FCCL、光學(xué)薄膜、膠帶以及各種功能薄膜行業(yè),狹縫擠出涂布方式,涂布精度高,涂層一致性好;供料閥體配合模頭墊片,可實(shí)現(xiàn)連續(xù)、間歇、條紋、網(wǎng)格等形狀的涂布;模頭根據(jù)客戶材料特性設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)超薄亞微米級涂布;計(jì)量泵供料,漿料封閉運(yùn)行,可自由設(shè)定...

  • 深能級瞬態(tài)譜儀具有安全便捷的優(yōu)點(diǎn) 2020-05-21

    深能級瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要儀器。根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜(DLTS)的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜,是一種具有高檢測靈敏度(檢測靈敏度通常為半導(dǎo)體材料中摻雜濟(jì)濃度的萬分之一)的實(shí)驗(yàn)方法,能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS譜,集成多種全自動的測量模式及全...

  • 表面光電壓譜滿足安全標(biāo)準(zhǔn)要求 2020-04-09

    表面光電壓譜主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料或者器件的TPV測試和機(jī)理分析,光催化材料TiO2、C3N4、CdS、磷化物等、催化材料、分子篩、太陽能電池(單晶、多晶、染料敏化、鈣鈦礦)、光電化學(xué)的TPV、電化學(xué)材料的TPV等。光電壓譜采用白光偏置光路激發(fā)材料;大功率*脈沖激光器;采用專有技術(shù)的電磁屏蔽,無任何外界干擾;測試光路,水平與垂直可任意在線切換,實(shí)現(xiàn)固體樣品和液體樣品均可測試分析。光生載流子動力學(xué)主要測試技術(shù),載流子動力學(xué)測試技術(shù)主要有電學(xué)和譜學(xué)兩類.電學(xué)方法主要是光電化學(xué),測量...

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